МЭМС-реле – новые горизонты мощности

На выставке APEC 2019 компания Menlo Micro продемонстрировала новое силовое реле, изготовленное с использованием МЭМС-технологий (MEMS). Свою историю Menlo Micro начинала как подразделение General Electric. В настоящее время компания сосредоточила свои усилия на разработке надежной и безопасной технологии силовых ключей для коммутации электропитания аппаратов МРТ и другого медицинского оборудования.

Ранее Menlo Micro уже предлагала аналогичную технологию МЭМС-коммутаторов, которые предназначались для ВЧ и других маломощных приложений. Теперь компания разработала МЭМС-реле, способное выдерживать напряжения до 150 В и коммутировать токи до 3 А (рис. 1). MM1200-6 – это МЭМС-реле, ресурс которого по заявлению Menlo Micro, достигает трех миллиардов переключений при 85 °C. MM1200-6 объединяет шесть силовых ключей, управляемых по SPI. Любой из шести ключей может коммутировать ток до 1 А, но из-за ограничений корпуса суммарный ток всех каналов не должен превышать 3 А.

Рис. 1. МЭМС-реле MM1200 от Menlo Micro намного меньше, чем обычные реле

MM1200 имеет встроенный полевой транзистор, включенный параллельно с контактами МЭМС-реле. Управляющая электроника отключает этот полупроводниковый ключ только после размыкания механических контактов реле, что помогает устранить искрение при коммутациях. Аналогичным образом управляющая электроника включает транзистор еще до замыкания механических контактов реле, тем самым обеспечивая минимальное время включения 10 мкс, что намного быстрее, чем у обычных МЭМС-переключателей.